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气体流量控制器厂家

三路质子气体流量控制器返回

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  产品描述

  三路质子流量控制器主要用于实验室气体流量测试,并按比例混合气体,为实验室管式炉或手套箱等其他特定容器营造特定要求的气氛环境.

  该气体流量控制器可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.三路质子气体配比器气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.

  应用范围

  1.半导体制造行业中气体流量控制

  2.各种真空镀膜设备

  3.材料表面处理

  4.气体燃烧控制

  5.混和配气系统

  6.环境检测与分析设备

  7.分析仪器的气体流量计量与控制 8.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所

  技术参数

产品名称 三路质子气体流量控制器
流量计类型 质子流量计
流量计管芯 304不锈钢
调节阀类型 电磁调节阀
管道常态 常闭
流量计外壳 黑色铝壳
气体种类 3种
接口尺寸 1/4"
测量精度 ±1.0%F.S
线性度 ±0.5%F.S
重复精度 ±0.2%F.S
压力范围 -0.1-0.15 MPa
A路气体测量范围 0~100SCCM
B路气体测量范围 0~200SCCM
C路气体测量范围 0~500SCCM
流量控制范围 2%~100%
零点温漂 0.6F.S(15~35℃)
响应时间 2S
工作环境温度 (15~50℃)
精度保证温度 (15~35℃)
供电电源 220V 50Hz
设备重量 43kg

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